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三星发布业界首款采用10nm EUV技术的DRAM芯片

三星是个人电脑和智能手机的内存和存储市场的全球领导者,它经常将较新的技术领先于其他品牌。该公司现已宣布,已开始批量生产和销售业界首个基于10nmEUV(极紫外)制造技术的DRAM模块。

新的基于EUV的DRAM模块具有DDR4速度,并且已交付给全球的三星客户进行评估。这家韩国芯片巨头的10nm级(D1x)DDR4 DRAM模块将不仅用于计算机和智能手机,而且还将用于数据中心和企业服务器。

使用10纳米EUV工艺制造的DRAM芯片可增强性能

三星是世界上第一个采用EUV技术制造DRAM芯片的公司,因为与FinFET工艺相比,三星可以通过减少多图案重复步骤和提高图案精度来实现更好的缩放比例。新技术带来了增强的性能并缩短了开发时间。

该公司将完全部署10nm EUV技术来制造其所有下一代DRAM芯片。它将用于制造用于智能手机和笔记本电脑的LPDDR4X RAM,以及用于PC的DDR4 RAM。三星将来还将使用相同的技术来制造LPDDR5和DDR5 RAM模块。

三星预计明年将开始使用12英寸D1x晶圆大规模生产基于EUV的16Gb LPDDR5和16Gb DDR5 DRAM模块。这位全球存储芯片领导者将在2020年下半年在其位于韩国平泽市的第二条半导体生产线中开始批量生产。

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