9月8日,光刻机巨头阿斯麦宣布,将联合台积电、三星电子、英特尔共同推进HighNAEUV下一代高数值孔径极紫外光刻技术落地,服务英伟达等企业的大型数据中心芯片研发。
根据时间规划:台积电自2030年将阿斯麦HighNA用于先进制程量产;三星电子计划2028年前把HighNA应用在DRAM量产。目前英特尔已完成超100万片HighNAEUV相关技术的晶圆处理。为承接AI浪潮带来的设备需求,阿斯麦还在荷兰启动第二座产业园区建设,园区规模约等于50个足球场,最多容纳2万名员工,一期工程预计将于2029年完工。阿斯麦规划在2031年前建成大掩模试点产线,预计2033年实现新技术量产,技术落地后设备产能有望提升40%。
