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台积电开始向潜在客户提供EUV N7与芯片

导读 台积电今天宣布其N7 +工艺将大量推向市场,该公司已经吸引了包括AMD在内的众多客户,AMD公开表示将在其未来的基于Zen 3的芯片中使用新的7

台积电今天宣布其N7 +工艺将大量推向市场,该公司已经吸引了包括AMD在内的众多客户,AMD公开表示将在其未来的基于Zen 3的芯片中使用新的7nm +工艺。

台积电还声称N7 +是业界首个商业化的EUV加工工艺,这不只是台积电的第一个使用期待已久的极紫外(EUV)光刻技术的工艺。该公司没有明确说明将使用新芯片的产品。

这家台湾公司声称N7 +是第一个基于EUV的工艺,它将产品推向市场,并为多个客户提供了生产能力。有了这一主张,台积电将击败三星,一年前宣布已开始生产7nm。华为和AMD公开表示将使用台积电的技术,但AMD的Zen 3芯片定于2020年下半年发布。

台积电声称其N7 +生产是有史以来最快的之一,这可能意味着在良率学习方面台积电接着说N7 +已经与苹果公司A12芯片首次亮相的2018年7nm工艺的良率相提并论。N7 +于5月投入量产,随后将到2020年底,N6的性能有所改善,密度与N7 +相似,但与N7的设计规则完全兼容。

N7 +源自台积电(TSMC)的常规N7(似乎存在一些供应问题),并且基本上是该公司的第一个启用EUV的工艺技术,在有限的关键层使用昂贵的ASML步进器。N7 +为客户提供了15-20%的密度提高,并降低了功耗。

EUV是期待已久的下一代光刻解决方案,用于在芯片上构图特征。传统的193nm DUV一旦在32nm节点甚至更早的路线图上提出,就已经通过浸没式光刻技术得到了扩展,该技术在透镜和水之间使用水,并采用多种构图技术。与沉浸式光刻技术的76nm极限相比,EUV的13.5nm波长允许打印特征相距26nm。

台积电表示,经过多年的发展,这些工具在可用性(正常运行时间)和吞吐量方面已经达到生产成熟。台积电没有透露供货情况,但生产目标接近或高于90%。台积电的功率输出超过250W。

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