ASML Hyper NA EUV 光刻机蓝图公布 支持 5nm 单次曝光

ASML 正式公布 Hyper NA EUV 光刻机相关蓝图,这款设备作为光刻机领域的新一代主力产品,可实现 5nm 单次曝光,是当前光刻机技术的