标签 > 60nm超浅划痕怎么测：共聚焦为何拍不出三维轮廓

深度 60 nm 的超浅划痕，很多时候在激光共聚焦上只能看见明暗痕迹、拿不出可靠三维轮廓，核心不是设备坏了，而是共聚焦的轴向分辨能力、