标签 > 扒一扒，薄膜沉积设备

薄膜沉积设备是晶圆制造里的核心工艺装备，作用就是在硅片表面均匀镀上一层极薄的材料薄膜，是光刻、刻蚀之外三大核心工序之一，芯片里面的