标签 > 不玩EUV了 佳能推出高性能KrF光刻机：套刻精度可达4nm

佳能没有继续跟进 EUV 光刻机路线，正式发布新一代 KrF 扫描光刻机 FPA-6400ES6a，核心亮点是 4nm 套刻精度、每小时 400 片晶圆产