长鑫 G6 内存前瞻无 EUV 路线实现密度突破并布局 3D 内存技术

长鑫 G6 内存选择继续使用 DUV 光刻方案,不走 EUV 路径,依靠图案化工艺优化、晶圆键合创新来提升存储密度,同时持续推进 3D 内存