CMP 抛光垫选用 MOCA 的底层原因固化剂性能匹配需求

CMP 抛光垫经常使用 MOCA 作为固化剂,核心是 MOCA 能让聚氨酯抛光垫形成稳定、可控的交联结构,兼顾抛光需要的硬度、孔隙率、回弹、