华邦电子规划引入 EUV 设备 第二代 14nm DRAM 目标 2030 年落地

华邦电子对外公布 DRAM 技术路线,14nm DRAM 分成两代工艺开发,一代不使用 EUV,第二代规划导入 EUV 极紫外光刻设备,顺利的话会在