标签 > 佳能发布 KrF 半导体光刻机 FPA-6400ES6a，宣称实现高生产率和业界高水平套刻精度

佳能在东京正式对外发布新款 KrF 扫描式半导体光刻机 FPA‑6400ES6a，计划在 2026 年 12 月上旬正式出货，主打存储芯片、逻辑芯片的