标签 > 佳能发售KrF半导体光刻机“FPA-6400ES6a” 实现高生产率和业界高水平套刻精度

佳能全新发售的 KrF 半导体光刻机 FPA-6400ES6a，主打更高生产效率和行业顶尖水平的套刻精度，主要用来满足成熟制程芯片的大批量光刻需

佳能在东京正式发布 KrF 扫描式光刻机 FPA-6400ES6a，计划 2026 年 12 月上旬出货，主打两大核心指标：每小时 400 片晶圆曝光产能