标签 > 抛光垫的寿命怎么定义，磨破了才算报废吗 ？

抛光垫（半导体 CMP）定义的是工艺有效寿命，不是物理不破的寿命；哪怕外观完好、没有磨破、底层基材没露出来，只要抛光能力、均匀性、良