标签 > 重要突破！中微公司首台等离子体晶圆切割设备成功交付

中微公司实现重要产业突破，旗下首台等离子体晶圆切割设备已经成功交付客户，这款设备属于半导体后道关键加工装备，采用等离子切割方案，相