有行业消息显示，三星电子与 SK 海力士计划分别投入超过 10 万亿韩元用于采购、配套布局 ASML EUV 光刻机，这笔资金不只是单纯买设备，还包含配套厂房改造、光刻工艺开发、光掩膜、特种材料以及运维体系搭建，两大韩国存储巨头加码 EUV，目标是推进更高规格 DRAM、NAND 闪存先进制程落地，巩固在全球存储芯片市场的领先地位，同时锁定 ASML 的设备交付配额，避免后续产能扩张被光刻机供货节奏卡住。
EUV 光刻机是先进存储制程绕不开的核心装备，先进节点下，普通 DUV 多次曝光方案成本高、良率提升难度大。三星和 SK 海力士都在向着更精细的存储工艺推进，想要持续缩小存储单元面积、提升单片晶圆容量，就必须依靠 EUV。而且 ASML EUV 产能有限，交付周期很长，提前大额投入、锁定订单，是存储大厂稳住长期产能规划的关键手段。
本次投资覆盖的重点方向清单
- ASML EUV 新机采购：订购新一代 EUV 光刻机，扩充机台数量。
- 产线改造适配：建设超洁净车间、配套真空、供气、散热基础设施。
- 光刻工艺研发：调试 EUV 曝光流程，优化光阻、掩膜方案，提升良率。
- 配套耗材与备件储备：提前备货光源模块、光学部件、专用耗材。
- 人才与运维体系：搭建专门团队负责 EUV 机台调试、维护与故障处理。
三星电子与 SK 海力士相关布局对比
| 企业 | 投资规模传闻 | 主攻方向 | 核心目标 |
|---|---|---|---|
| 三星电子 | 超 10 万亿韩元 | DRAM、NAND、逻辑先进制程 | 存储 + 代工双线推进，抢占先进节点 |
| SK 海力士 | 超 10 万亿韩元 | 高端 DRAM、大容量 NAND | 聚焦存储，拉高单颗密度与产能 |
| ASML EUV | 设备供给方 | 限量交付、长周期排产 | 优先保障长期大客户配额 |
从投资到量产落地大致步骤
企业先和 ASML 敲定意向订单，锁定 EUV 机台排期，同步启动资金审批与预算落地；之后开工改造洁净厂房，搭建配套动力与气体供应系统；设备完成制造之后分批运抵厂区，进场安装、光路校准、真空调试；接着进入试流片阶段，反复打磨 EUV 光刻工艺，持续提升良率；良率达标之后逐步爬坡产能，把采用 EUV 的存储芯片推向市场。整个周期耗时很久，从下单到稳定量产往往需要数年。
这笔传闻中的巨额投入，足以看出韩国存储厂商对 EUV 路线的押注。存储芯片的竞争已经从单纯拼产能，转向先进光刻工艺的比拼。如果顺利落地，后续更高密度、更低功耗的存储产品会加速面世；但也要看到，EUV 机台昂贵、运维成本极高，如果存储周期下行，也会给企业带来不小的资本开支压力。
【常见问题】
问题 1：消息称三星电子、SK 海力士均将向 ASML EUV 光刻机投资超 10 万亿韩元，这笔钱全部用来买光刻机吗？
回答 1：消息称三星电子、SK 海力士均将向 ASML EUV 光刻机投资超 10 万亿韩元，资金不只是购机，还包含洁净车间、工艺研发、耗材、运维等整套配套投入。
问题 2：三星电子、SK 海力士加码 ASML EUV 光刻机，主要是为了哪一类芯片？
回答 2：三星电子、SK 海力士加码 ASML EUV 光刻机，重点用于先进 DRAM 和 NAND 闪存，三星还会同步支持其逻辑代工的先进制程研发。
问题 3：为什么三星电子、SK 海力士要提前大手笔布局 ASML EUV 光刻机？
回答 3：因为 ASML EUV 光刻机产能紧张、交付周期漫长，三星电子、SK 海力士提前投入，用来锁定设备配额，保障先进存储制程的迭代节奏。
问题 4：如果三星电子、SK 海力士顺利落地这批 ASML EUV 光刻机投资，会带来什么行业影响？
回答 4：如果三星电子、SK 海力士顺利落地这批 ASML EUV 光刻机投资，将加快高密度存储芯片量产，拉高存储行业工艺门槛，进一步加剧先进存储赛道的竞争。
【参考资料】
[2026-11-07]（消息：三星、SK 海力士各计划投入超 10 万亿韩元布局 ASML EUV）韩联社
[2026-11-03]（韩国两大存储巨头加码 EUV，争抢 ASML 设备配额）半导体行业观察
[2026-10-30]（ASML EUV 交付排期紧张，存储大厂提前锁定订单）财新网
【免责声明】
以上内容基于行业传闻资讯整理，不构成芯片产业、证券投资建议；相关投资金额、订单细节、采购时间表尚未得到三星电子、SK 海力士、ASML 的官方确认，最终安排请以企业官方公告为准；EUV 设备落地周期长，量产效果同时受工艺、良率、市场周期多重因素影响。