标签 > 佳能将发布新款光刻机，单小时产能可达400片晶圆

佳能计划推出一款新款光刻机，这款设备的核心亮点就是产能很强，单小时可以处理 400 片晶圆，主打高吞吐量，瞄准成熟制程、特色工艺晶圆