压电式微机械超声换能器 PMUT|多物理场仿真与结构优化技术详解

压电式微机械超声换能器(PMUT)的设计必须依靠电、力、声多物理场耦合仿真,不能单独拆分计算,这也是 PMUT 和传统超声换能器最大的区别