先进封装新装备落地,中微 Primo Matrix 等离子切割机交付,最小支持 5 微米切割道

中微公司全新 Primo Matrix 双反应台等离子体晶圆切割设备已经完成首台交付,面向先进封装赛道,设备最小支持 5 微米切割道,相比传统