中微 Primo Matrix 等离子体晶圆切割设备完成首台交付,补齐先进封装干法切割国产设备环节

中微公司正式推出 Primo Matrix 双反应台等离子体晶圆切割设备,并且已经把全球首台设备交付给国内集成电路封装客户,这是国产等离子体