标签 > 【会员风采】技术发声｜微波远程等离子体源最新进展

本次会员技术分享聚焦微波远程等离子体源最新进展，该设备把等离子体发生腔和工艺处理腔相互隔开，依靠微波激发产生活性自由基再输送到晶圆