新型 CMUT 工作模式优化方案,大幅提升超声换能器声学性能

新型 CMUT 也就是电容式微加工超声换能器,依靠全新设计的工作模式,把振膜振动形态、电场分布和空腔结构重新做了匹配,解决传统 CMUT